MO源,是用在半导体行业的高纯金属有机化合物,最大应用领域是LED

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MO源,英文全称是metal organic source,是用在半导体行业的高纯金属有机化合物。在生产氮化镓、砷化镓等化合物半导体时,需要使用挥发性的金属有机化合物作为原料,以蒸气的形式引入相应的金属元素,让半导体材料沉积生长到衬底上,比如镓的原料是三甲基镓、三乙基镓。这些原料要求极高的纯度,但本身易燃、有毒、对氧气和水高度敏感,制备提纯的难度大。MO源最大的应用领域是LED,所以孙祥祯教授创立的企业叫南大光电。在功率半导体、射频芯片、光伏等行业中,MO源也有不可或缺的作用。

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