对于DUV的研制,中国已经到了必须尽快取得突破的时候

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对于DUV的研制,中国已经到了必须尽快取得突破的时候。先不要谈EUV研制和其他创新路径,必须埋头苦干,不懈努力,把DUV研制进程加快推进。只要在DUV研制取得突破性的进展,并且迅速商用,那个时候才会有精力去全力琢磨EUV,去寻找其他新的发展路径。

脚踏实地,实事求是。

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