国产光刻机的创新为何还解不了“缺魂少芯”

  • euv是从构想出现到现在将近30年,最初构想是美国人和日本人做的,原型机是2000年美国造的,我们也是这个时候开始跟踪的,asml的样机ADT是06年造出来的,你在新闻通稿里看到的就是仿制的这个。
    之后asml是通过收购获得的光源技术,在此基础上又联调了很多年才造出的现在你能看到的光刻机。
    那个adt也是靠duv光源曝光一个35nm的图,证明这种曝光系统可靠,现在我们算是追上了他们06年的水平

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