40年前,中国半导体人原来是这样造芯片的!
IC Insights发表2019-2023全球晶圆产能报告指出,就2018年使用的总表面积而言,12英寸晶圆是主流。
晶圆是生产芯片的原材料,可以理解为我们平时吃的披萨底,晶圆就是芯片的衬底,按照直径可以分为3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸。
40年前,我国的芯片生产线以3英寸为主,基本上还是从日本进口的。
在这个时期,电视机还是个稀罕物,黑白电视机是一个富裕家庭的象征,大部分家庭还买不起一台黑白电视机。一台9寸的黑白电视机大约400块左右,相当于一个普通工人一年的工资。
价格昂贵的原因在于稀缺,1978年,中国年产电视51万台,其中彩电只有3800台。更本质的原因还在于当时电视机生产线的贫乏,特别是最重要的显像管和芯片,都需要从国外进口,根本没有自造能力。
在此背景下,1977年,我国决定从日本引进彩色显像管生产线,同时也计划引进配套的线性集成电路生产线,其中集成电路电路生产线定点就在江南无线电器材厂。
可能你不了解江南无线电器材厂,没关系!那由它而演化的742厂、中国华晶、华润微电子想必你至少听过一个。
742厂身上的光环有很多:中国第一根4英寸硅单晶的创造者、制造出全国第一个高速冲床模具——大塑封模具、80年代40%的电视机用的都是742厂生产的芯片、成功研发出来我国第一个64K存储器……
甚至有业内人士指出:“没有742厂和华晶公司情况的中国半导体史,不是断史就是编史”,由742厂衍生的中国华晶更被称为“中国半导体产业的黄埔军校”。
上个世纪80年代,由于742厂技术先进,经营业绩突出,中国新闻记录电影制片厂发现了这个先进典型,专门来拍了两部电影《我爱江南厂》、《女工程师门》。本次将带大家解读这两部影片,结合产业发展背景和资料,一起探秘神秘的742厂。(影片链接可翻至文末观看)
高级工程师吴极原来是西北工业大学的教研室主任,于1978年加入742厂,此时他正在调节从美国引进的计算机辅助制版系统,通过阅读书籍和引进资料终于掌握了这套新技术,仅调试一项就为国家省去了6万美元。
刘中有是60年代机械专业的毕业生,来到742厂之后,主动钻研半导体工艺。刘中有的骨子里有一种为厂争光、不甘落后的倔劲,最终在刘中有的探索下,他负责的中功率开关晶体管、高频中功率晶体管还分别获得了国家银质奖和国家金质奖。
单晶硅晶棒制造过程
在当时,江南无线电器材厂已经可以拉出直径100㎜,重量11公斤的单晶硅,单晶硅锭需要通过切断、切片、研磨、抛光、 清洗五大步骤从而得到抛光硅片。
抛光硅片
以1英寸=25.4毫米(mm)来计算的话,100mm大致是4英寸的水平。当前捷捷微电(SHE: 300623)的主打产品晶闸管系列用的还是4英寸生产线。
光刻过程
仔细看下,芯片生产过程中所用的光刻机,基本还需要人工协助,多为接触式和半接触式光刻机。那个时候的霸主是尼康和GCA,当今霸主ASML(成立于1984)还没诞生。
值得一提的的是,我国的光刻机制造和世界水平相差并不大,1985年,机电部45所研制出分布投影式光刻机,被电子部技术鉴定认为,达到美国GCA公司1978年推出的4800DSW光刻机的水平。按照这个时间节点算,中国在分步光刻机上与国外的差距不超过7年。
1985年这条产线迅速投产,每年生产的芯片可以100万台彩色电视机和700万台黑白电视机。
与东芝公司的这次合作,是我国第一次从国外引进集成电路技术,短短几年时间,厂里的芯片产量达到3000万块,一度蜚声国内的名牌电视机熊猫、金星等统统装有这家工厂的产品。
甚至有人统计,截至1987年从这条生产线上出来的芯片用在了40%的国产电视机、音响和电源上。742厂也一跃成为当时我国产能最大、工序最全、首家具有现代工业大生产特点的集成电路生产厂。
“黑白影像里,女工在形似物理实验桌的工作台前,专心地盯着眼前的’镜头',两只手在桌面上灵巧移动,机器上的针脚有序的在基板上‘打印'”,这是上个世纪80年代制造芯片的场景。
镜头中的女工是742厂的热压工。热压焊接是倒装芯片焊接的一种,主要是用过凸点制作、印刷焊胶等流程将芯片印在基板上。通俗点来说,就像新房里铺设的电路,主要目的在于连接。
镜头下,厂里的工人正在为来华指导工作的日本专家做翻译,这些工人日语说的很流利,但他们并不翻译学校毕业的,而是742厂里的短训班培养的。
742厂工人为日本专家翻译
1980年,742厂从日本东芝公司引进彩色和黑白电视机集成电路5微米全套生产线。资料显示,从1980年4月开始,先后有60多批150多人次的日本专家来无锡工作。
技术从引进到落地是个工夫活,对于技术翻译来说,语言基础是一方面,能够懂技术则是锦上添花,厂里短训班培养的翻译可以同时这两种功能。除了日语培训班外,742厂还开设了英语培训班、技术培训班等,种类齐全,现在企业基本没有了。
40年后,这种我们再想学习职业技能,有了各类的培训班、在线教育、知识付费,或者我们也可以去B站学(白)习(嫖)。
“女性能撑半边天”,742厂的女员工妥妥地撑起了这里的半边天,3000多名员工中,女性就占据了47%,全工厂4名总工程师,女性就占了1/2,其中就包括742厂时任副总工程师黄兰芳,她主要负责从日本引进生产线的全部技术工作。
742厂时任副总工程师黄兰芳
为了掌握生产线的性能,黄兰芳曾赴日本学习,她大学是学俄语的,并不会日语,在日本学习技术的同时还学习了日语,四个月后黄兰芳已经可以用日语写学习报告还整理了十几万字的学习笔记,可见其花的功夫有多深。
除此之外,还有邹美玲、袁留英等,这些工程师们基本都是60年代的大学生或者研究生,80年代他们是742厂的骨干,日常的重心基本在工作上。
除了工作场景,影片还切入了职工们的生活场景。职工们大多数居住在厂里建设的华晶新村,有点类似现在的人才公寓。1965年之前的大学毕业生,1960年前的中专毕业生,或者工龄超过20年的老职工,4口之家就可以领到一套三室的房子。
宿舍生活
校车接送职工子女上学
公共浴室
在黄兰芳的家里,她和她的母亲、丈夫和两个孩子居住在一起,由于工作原因两个孩子都是黄兰芳的母亲带大的。
邹美玲家是双职工家庭,她和丈夫两个人都是工程师,由于工作繁忙,她和丈夫约定谁回家早谁做家务,照顾家里。
华晶厂有3000名员工,30岁以下的年轻人占据70%,基本是高中文凭,光技术人员就有700多位, 很多人做的是没有太多技术含量的操作工,踏实、技术上不服输的那种韧劲与勇气是所有742厂人共有的特质。
742厂的所在无锡是江苏省集成电路发展的主力军,产业规模仅次于深圳、上海、北京,居于全国第4位,742厂的早期探索也被认为是无锡造芯记的源头。
40年过去,从742厂到中国华晶再到华润微电子,742厂变了,又没变。据了解,从华晶走出去的在其他公司或政府部门曾经担任过主要领导、骨干的人数不下500人,目前仍然有300余位“华晶人”继续奋斗在我国集成电路产业链的重要关键岗位上。
影片地址链接:
742厂演变史:(下滑查看全部)
1960年,在江苏省无锡市棉花巷,江南无线电器材厂成立了,一帮人用土办法制造二极管。1963年,国家第四机械工业部的领导看到它的前景,把它收归部里,收归国有,成为742厂。
60年代742厂主要以生产硅高频中小功率三极管、硅低频大功率晶体管为主,70年代中期,能够生产CMOS和POMS电路、高速STTL系列电路,研制了128位移位存储器、1K位存储器。到70年代后期,开始生产黑白电视机用全套六块电路、并承担了国家微型计算机用8位CPU的攻关任务。
1987年,江南无线电器材厂与电子部第24所无锡分所合并,成立无锡微电子联合公司,即中国华晶电子集团公司(简称“中国华晶”)的前身。
1990年9月电子工业部又决定启动“908工程”,想在超大规模集成电路方面有所突破,目标是建成一条6英寸0.8-1.2微米的芯片生产线。项目由无锡华晶承担,芯片技术则向美国朗讯购买,但最终结果是:行政审批花了2年,技术引进花了3年,建厂施工花了2年,总共7年时间,月产量也仅有800片,被外界诟病“投产即落后”。
1998年1月,无锡华晶与上华合作生产MOS圆片签订合约,有效期四年,华晶芯片生产线开始承接上华公司来料加工业务。开始执行100%代工的Foundry模式,从此真正开始了中国大陆的Foundry时代。
1999年,陈正宇博士与中国华晶合作共同在无锡设立无锡华晶上华半导体有限公司(后改名为无锡华润上华半导体有限公司),上华持股51%,华晶49%,以运营一家6英寸MOS晶圆代工厂。
2002 年 9 月香港华润集团正式宣布完成收购华晶,后华润集团取得华润微电子控制权并将自身下属的半导体资产和业务整合并入,中国华晶成为华润微电子的一部分。
参考资料:
【1】深度好文丨中国芯片的真实情况,这篇文章说透了,正和岛,2109;
【2】发现无锡 | 40年前,无锡“造芯记” ,情调无锡,2019;
注:文章提到的人名均为音译,暂无法考证