一声“发车”令，30台套SiC外延设备发货！
Moss从未叛逃
昨天 15:44
来源：微博@中国电科
新春伊始，48所实现首次大规模批量发货。SiC外延设备是第三代半导体SiC器件制造的核心关键设备之一，目前，该设备已成功出货百余台套，并在客户现场稳定运行。
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