应对美国科技脱钩，中国要下定狠心做这件事

在北京亦庄搭建非美化28nm制程的产线，这个可能是真的。但是光刻机用的就是上微的DUV，这个可能就是假的。华卓精科是做光刻机的核心部件工件台的，他前段时间出了一个报告，主要是发想上市没有成功的牢骚。他说65纳米的干式光刻机工件台已经成功，但是浸润式的还在研发，浸润式的难度高、投资大、风险大，影响了公司的财务报告，不给上市就停了浸润式的研发。反正靠65纳米的干式光刻机工件台公司也可以很好的生存。
浸润式光刻机是28纳米制程必须的技术，所以这个报告透露出的最乐观的估计就是65纳米的光刻机可能已经没有问题了，工件台已经发货给下游集成企业了，包括上微，如果亦庄的非美化产线是真的，那么大概率是65纳米的。
此外还有一个问题，ASML不仅仅是集成商，ASML自己研发工件台，中国的上微单搞集成，对机器的部件和生产线的理解恐怕天生就比不上ASML。中国反而应该让工件台的研发部门来集成光刻机，这样效果可能更好。