长春光机所研发的国产EUV光刻机物镜系统开始装配了

进口采购海克斯康公司的Lecia AT960设备。该设备主要用于装配和测量物镜系统的，是生产设备，不是物镜的组件。长春光机所目前正基于哈工大DPP-EUV光源研制EUV曝光机，预计两年内可推出。光刻机的两大核心部件为双工件台和曝光系统。

海克斯康总部位于瑞典斯德哥尔摩的全球领先的高科技计量技术跨国集团（Hexagon Metrology AB），是所在产业领域的领跑者。在全球包括中国、美国、德国、意大利、以色列等国设有工厂，拥有超过100个分支机构，在全球35个国家拥有大约8000名员工。海克斯康中国总部在青岛即海克斯康测量技术(青岛)有限公司，位于青岛市株洲路188号。该公司前身为海克斯康收购的青岛前哨公司。

公示信息来源于长春光机所官网http://www.ciomp.ac.cn/tzgg/202105/t20210525_6038457.html