国内最有名的超精密加工设备单位是北京机床研究所

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• 看着他楼塌了我吹了个口哨
• 文章说了，就是光刻机加工精度高，国防科技大学才需要超精密机床，而工业母机的轴加工精度是关键，现在突破到加工精度0.1微米。不光是论文，还是已经实现的生产技术。

和光刻机关系不大，用于特殊用途的超精密加工，比这个精度高多了，而且是多种精密加工配合的结果。比如美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室在1984年研制的LODTM大型超精密金刚石车床，机床最大可加工直径1.65米，高0.5米，工件质量高达1360公斤，其加工精度可达28纳米。观网有网友（马氏体）介绍过ASML的光刻机镜头是由德国蔡司公司制造的，镜坯首先由高精度机床铣磨成型，再使用小磨头抛光、磁流变抛光、离子束抛光等超精密抛光手段，才能达到所需的精度。

超精密加工用途非常广泛，相机和其他高精密产品的模具，各种超高精密光学元件，各种光学镜，结晶体的微加工，半导体行业，汽车行业，医疗行业等等。

从报道来看，它是对标“商业超精密加工”设备的，报道中有写“对比代表美国超精密领域最高水平的Precitech公司的产品手册”，Precitech公司就是美国和全世界有代表性的商业超精密加工设备供应商，还有美国的Moore公司，日本的发那科和东芝，德国的库格勒公司，英国的Tayler／Hobson-Pneumo公司等。

从Precitech公司网页看，它可以提供非常成熟的商业超精密加工设备。

国内最有名的超精密加工设备单位是北京机床研究所（现改称北京机床所精密机电有限公司），它研制的NAM－800机床，精度0.025微米。另外还有北京航空精密机械研究所，哈尔滨工业大学，天津大学，国防科技大等。