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中芯国际回应
回复1条
上微集成的193nm浸没式光刻机马上/立刻要开始总装了，不久就能下线，后面就是产线设备和工艺调试，考虑到是新设备，先达到28nm这个最低目标吧。
这型目标高度聚焦的设备，功能和性能指标与既有外商成熟设备的兼容性应当很好，对于己具备工艺能力的芯片厂/团队来说，工艺适配可以期望只是个类似搬迁设备的过程。（这个才是乐观，但是有理据的）