CCD图像传感器——颠覆人类记录影像的方式

500

基于半导体技术的CCD图像传感器改变了人类用胶片记录影像的历史。时至今日,数字化影像不仅是科学分析的重要工具,也深入每个人的日常生活。

编辑 | 书羽

500

维纳德·波利(左)和乔治·史密斯(右)在1969年发明了CCD技术丨来源:文献[1]

2009年,维纳德·波利(Willard S. Boyle)和乔治·史密斯(George E. Smith)因为发明CCD(Charge-coupled Device,电荷耦合元件,或称为CCD图像传感器)而获得当年的诺贝尔物理学奖。

诺贝尔奖委员会主席约瑟夫·诺德格伦(Joseph Nordgren)在宣布该奖项的新闻发布会上说:“当今社会的记录影像的方式完全基于CCD的研究。” “这项研究的实际意义是巨大的……它改变了我们的生活,不仅在科学领域,而且在整个社会领域。”

胶片时代

在1975年数码相机发明以前,人们记录影像的方式是使用胶片。它的工作过程可以概述为:光线经过照相机镜头,然后由快门的速度来决定曝光量的多少。光线使胶片上的银盐产生化学反应,最后在胶片上生成影像的潜影。经过暗房里的冲洗形成影像并制成底片。利用调配将底片显影最终印出。

500

胶片摄影需要经过复杂的处理才能得到影像丨图片来源自网络

CCD的发明

1969年10月,史密斯和波利在贝尔实验室吃午餐时,讨论产生了灵感。午餐后继续探讨,当天就构想出了CCD这个无处不在的成像发明。不过,从造出样机到研制出科学家和摄影师都可以使用的实用技术,这条路漫长而艰难。尽管CCD后来主宰了天文学领域,但它在刚发明时分辨率非常低,根本派不上实际用场。当时CCD的信噪比很差,不大容易看得出它是否会有远大的前程。

500

第一个CCD器件丨来源:文献[4]

500

第一个CCD集成器件丨来源:文献[4]

500

早期的线性成像CCD丨来源:文献[4]

在接下来的时间里,成百上千的科学家和工程师努力奋斗,逐步将CCD推向实用化,包括美国的仙童(Fairchild)、柯达泰克(Tektronix)和德州仪器(Texas Instruments,TI),以及日本的夏普 (Sharp)、索尼 (SONY)、东芝 (Toshiba) 和日本电气 (NEC) 等公司都作出了许多贡献。航天、科学和消费等方面的应用,都得益于为解决CCD问题而从不同渠道投入的经费,但是问题还是很棘手,那是一条非常艰苦的发展之路。

CCD的原理

CCD是一种半导体器件,能够把光学影像转化为数字信号。CCD上植入的微小光敏物质称作像素 (Pixel)。像素数越高,面积越大,成像质量就越高越清晰。CCD上有许多排列整齐的电容,能感应光线、储存信号并将影像转变成数字信号。经由外部电路的控制,每个小电容能将其所带的电荷转给相邻的图像处理器来形成图像。

MOS电容器是构成CCD的最基本单元,它是金属—氧化物—半导体(MOS)器件中结构最为简单的。

500

MOS电容器丨来源:文献[4]

CCD的基本工作过程主要是信号电荷的产生、存储、转移和检测:

(1)信号电荷的注入(产生):在CCD中,电荷注入的方式可分为光注入和电注入两类。当光照射到CCD硅片上时,在栅极附近的半导体体内产生电子-空穴对,多数载流子被栅极电压排斥,少数载流子则被收集在势阱中形成信号电荷。

500

背照式光注入丨来源:文献[8]

所谓电注入就是CCD通过输入结构对信号电压或电流进行采样,然后将信号电压或电流转换为信号电荷注入到相应的势阱中。电注入常用的有电流注入和电压注入两种方式。

500

电注入方式丨来源:文献[8]

(2)信号电荷的存储:CCD工作过程的第二步是信号电荷的收集,就是将入射光子激励出的电荷收集起来成为信号电荷包的过程。

当向SiO2表面的电极加正偏压时,P型硅衬底中形成耗尽区(势阱),耗尽区的深度随正偏压升高而加大。其中的少数载流子(电子)被吸收到最高正偏压电极下的区域内,形成电荷包(势阱)。对于N型硅衬底的CCD器件,电极加正偏压时,少数载流子为空穴。

500

电荷存储丨来源:文献[8]

(3)信号电荷的传输(耦合):CCD工作过程的第三步是信号电荷包的转移,就是将所收集起来的电荷包从一个像元转移到下一个像元,直到全部电荷包输出完成的过程。

500

电荷转移丨来源:文献[7]

500

三相CCD中电荷的转移方式:(a)初始状态;(b) 电荷由①电极向②电极转移;(c) 电荷在①、②电极下均匀分布;(d) 电荷继续由①电极向②电极转移;(e) 电荷完全转移到②电极;(f) 三相交叠脉冲丨来源:文献[8]

(4)信号电荷的检测:CCD工作过程的第四步是电荷的检测,就是将转移到输出级的电荷转化为电流或者电压的过程。

其中电荷输出类型,主要有三种:1)电流输出;2)浮置栅放大器输出;3)浮置扩散放大器输出。

500

电荷检测电路丨来源:文献[8]

500

CCD工作过程示意图丨来源:文献[6]

CCD图像传感器是按一定规律排列的MOS(金属—氧化物—半导体)电容器组成的阵列。在P型或N型硅衬底上生长一层很薄(约120nm)的二氧化硅,再在二氧化硅薄层上依次序沉积金属或掺杂多晶硅电极(栅极),形成规则的MOS电容器阵列,再加上两端的输入及输出二极管就构成了CCD芯片。

按照像素排列方式的不同,可以将CCD分为线阵和面阵两大类。

线阵CCD每次扫描一条线,为了得到整个二维图像的视频信号,就必须用扫描的方法实现。线阵CCD又分为单沟道线阵CCD和双沟道线阵CCD。

单沟道线阵CCD:转移次数多、效率低。只适用于像素单元较少的成像器件。

双沟道线阵CCD:转移次数减少一半,它的总转移效率也提高为原来的两倍。

500

线阵CCD丨来源:文献[6]

面阵CCD:按照一定的方式将一维线阵CCD的光敏单元及移位寄作器排列成二维阵列。就可以构成二维面阵CCD。面阵CCD同时曝光整个图像。

帧转移面阵CCD——优点:电极结构简单,感光区面积可以很小。缺点:需要面积较大暂存区。

500

帧转移面阵CCD结构及工作过程丨来源:文献[6]

隔列转移面阵CCD——优点:转移效率大大提高。缺点:结构较为复杂。

500

隔列转移面阵CCD结构及工作过程丨来源:文献[6]

500

CCD功能示意图丨来源:文献[7]

500

CCD芯片结构丨图片来源自网络

CCD的发展

CCD的发明具有划时代的意义,它的出现使得人类捕捉信息达85%的眼睛这个重要器官得到了极大扩展与延申。

促进CCD快速发展主要有三个因素:首先,CCD的尺寸小,重量轻,消耗功率少,超低噪声,动态范围较大,线性良好,可靠,耐用。第二,这种器件在形状、快速、外形质量和成本方面能与真空管抗衡。第三,空间成像应用需要新的探测器。

20世纪70年代,美国贝尔实验室成功研制了世界上第一只CCD,它的诞生使成像、摄像等技术呈现一次飞跃。1973年,仙童公司把CCD技术应用于商业领域,制造出第一只商用CCD成像器件,这开辟了CCD在工业领域的道路。80年代后期,CCD在大多数视频应用中取代了电子管。进入90年代后,CCD应用于分辨成像,广泛应用于专业电子照相、空间探测、X射线成像及其他科研领域。

500

两种CCD产品丨图片来源自网络

市场应用的结果证明CCD是科学领域的一项重大技术变革。它在被忽视数十年之后,能获得2009年的诺贝尔奖可谓实至名归。

变革不停

但是,科学技术的进步一刻也不曾停止。1998年,CMOS图像传感器(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Image Sensor,CIS)诞生了。CMOS的光电信息转换功能与CCD的基本相似,区别就在于这两种传感器的光电转换后信息传送的方式不同。CMOS具有读取信息的方式简单、输出信息速率快、耗电少 (仅为CCD芯片的1/10左右)、体积小、重量轻、集成度高、价格低等特点。从2008年开始,各大厂商都开始逐渐把背照式CMOS使用在不同的数码相机产品上。从此,CMOS图像传感器迅速发展。

500

CMOS取代CCD丨图片来源自网络

科技不断发展,相信在未来的某一天,一定会有更多种类的传感器出现,这也只是时间的问题,到那时我们回望过去,看看我们曾经经历过的胶片时代、CCD时代和CMOS时代,一定会由衷地感叹科技日新月异的飞速发展。

参考文献

[1] https://www.nobelprize.org/prizes/physics/2009/summary/

[2] 张汝京. 半导体产业背后的故事[M]. 清华大学出版社, 2013.

[3] 董艺婷. 摄影技术的发展及对当代社会的作用研究[D].哈尔滨师范大学,2016.

[4] Smith, G. E. (2009). "The invention and early history of the CCD." Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment 607(1): 1-6.

[5] https://www.microscopyu.com/digital-imaging/introduction-to-charge-coupled-devices-ccds

[6] https://www.mega-9.com/tech/tech-45.html

[7] https://specinstcameras.com/what-is-a-ccd/

[8] 王庆有. 图像传感器应用技术[M]. 电子工业出版社, 2019.

[9] https://www.docin.com/p-505990925.html

[10] http://dc.yesky.com/88/31913588all.shtml

本文经授权转载自微信公众号“中科院半导体所”。

特 别 提 示

1. 进入『返朴』微信公众号底部菜单“精品专栏“,可查阅不同主题系列科普文章。

2. 『返朴』提供按月检索文章功能。关注公众号,回复四位数组成的年份+月份,如“1903”,可获取2019年3月的文章索引,以此类推。

全部专栏