国产光刻机如何实现

没有钱,就是没有得到政府重视,和我们走过来的那个年代有关。那个年代,什么都要有,跟踪就行,撒撒胡椒面,有点星火就可以。比如中科院计算所的龙芯,到了所谓需要芯片大发展的那几年,因为差距巨大,放弃了,走了引进技术,后来一事无成回到今天重新看好“龙芯”。还有三代核电不已时看不上核工业一院独立自主的设计,最后引进美国技术方西屋电气倒闭了,全套技术卖给了日本。中国不被看好的核工业一院队里自主开发的拥有自主知识产权的三代核电成为世界唯一。三个单位,三个都是世界顶尖技术,为什么最后出现如此巨大的差异?简单说,三个单位体谅不同:第一,核工业一原最大,技术队伍最强,但是当年也很悲催,几乎发不出工资,没有研究经费,可以说一群国内拥有最高级数的科学家,不如一个卖茶叶蛋的小贩富裕,他们没有倒下来,是因为他们有一股气息,独立自主开发出自己的核电的精神,他们遇到的障碍,一点不比光刻机差,他们从钢铁等原材料,基础加工设备开始,一台8万吨级液压成型压机就开发了10年。最后他们最成功。第二,中科院计算所的龙芯,他们和其他课题组不一样,应该也有科学院老一代科学家的精神,不是买来主义,他们在最艰难的时候,美国神助了他们,就是北斗。第三,上海微电子,机构没有前者大,也缺乏历史沉淀,能够坚持倒今天,做出90纳米光刻机,已经了不起。如果没有川普助力,国产化谈不上。他们今天缺乏的是,动用国家举国体制优势,开发出193纳米,大相对孔径,平场成像透镜;第二就是他们自己的事,建立一个光刻机一个总装、校正、测量平台装光刻机,这个平台当然是理论和实际相结合,理论知识基础研究和实践相结合的基础研究,谁说基础研究没有用?用处大了,基础研究来源于实践,又反作用于实践,这个基础研究就是和这台平台一起出现的计算机误差分析,时髦的就是计算机仿真。

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