文章照片是Φ35光刻机
汉家屹台
1小时前
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文章照片是Φ35光刻机。
78年中科院半导体所王姓工程师设计的Φ50光刻机在建光机器厂（4503厂）试制成功。工作台建光厂作了重新设计，本人承担了工作台设计。
89年电子部企业除4400厂和742厂外全部都下放各省。4503厂主要产品是离子注入机，产品市场占有率超过百分之五十。工厂属于半科研性质，下放后没有了科研费拨款，工厂逐渐没落。
