为了不让荷兰卖光刻机给中国,美国操碎了心

  • finfet天生就有高频不足的缺陷。而且除非是RF芯片,正常也没什么芯片需要那么高的频率啊。光刻这道步骤因为重要,所以良率一向是最高的。光刻出问题,十有八九是光学临近修正没做好。当然,我说的是asml,日系光刻机就另说了

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