99%的人没听过的Ushio，却是半导体界的“打光师”？
半导体行业观察官方账号关于Ushio：以光为名，驱动产业创新
自1964年创立以来，Ushio便专注于一件事：将“光”的潜能发挥到极致。
作为全球领先的“光的解决方案公司”，Ushio不仅在工业光源领域深耕细作，更在电子、影像及生命科学领域持续挑战技术极限。Ushio深信，光不仅是照明的工具，更是推动半导体产业迭代的核心能源。
相约上海：N3馆 3675，不见不散
SEMICON China 2026即将拉开帷幕，Ushio将携前沿的光刻技术与解决方案亮相。
我们的坐标:
上海新国际博览中心
展位号：N3馆 3675
我们期待与新老朋友相聚一堂，不谈虚言，只论技术。
无论您是寻求技术突破的合作伙伴，还是关注行业动态的业界同仁，Ushio展台都将是您此行不可错过的一站。
全场投影光刻机UX-4系列
从2026年Q1开始接受面向大晶圆的UX-4系列全场投影光刻机的新产品“UX-45114SC”的订单，该产品实现了应对φ6/φ8英寸的同时，分辨率可达到L/S=2.8μm的高套准精度。
“UX-45114SC”是UX-4系列的最新机型，UX-4系列光刻机多年以来一直服务于功率半导体、MEMS传感器、通信及光电融合相关 (光半导体)等领域，致力于提升元器件的生产效率，并拥有大量的导入实绩。
近年来，随着这些元器件的高性能化要求发展，需要不断推进线路的细小化。另外，为了提高芯片的生产效率，也产生了晶圆的大口径化目标，φ6/φ8英寸化也在不断推进。为满足这些需求，Ushio依托自创业以来培育的独创光学设计技术，采用与以往不同的特殊光学显微镜，成功研发出了支持φ6/φ8英寸、分辨率L/S=2.8μm的高套准精度产品UX-45114SC。
因此，对于物联网、5G、移动发展等下一代电子元器件所不可或缺的晶圆大型化和高精度化叠层要求，在保持高产速的同时提高分辨率和套准精度，可实现和传统产品同等甚至以上的生产效率和高成品率。
数字光刻系统DLT系列
Ushio与美国应用材料（Applied Materials）公司合作，共同推出了具备数字光刻技术的新一代产品DLT系列。该产品为数码光刻系统，专门用于先进封装领域，曝光分辨率可达1μm，对位精度0.35μm。DLT具有数据动态连接功能（DDC），可解决硅桥（CoWoS-L）位移等技术难题。同时，由于具备单元对位（Unit Alignment）以及实时自动聚焦（On-the-fly Autofocus）功能，可以很好地解决基板翘曲导致的图形形变与表面凹凸问题。Ushio认为，DLT 技术对于先进封装开发的成功至关重要。
步进式光刻机UX-5系列
“UX-59113”这款最先进IC封装基板用的大面积光刻的步进式光刻机，该Stepper实现了世界高水准的分辨率L/S=1.5 μ m，并大幅提高了套准精度，计划于2026年上市。
集成电路晶体管的集成密度遵循“每两年翻一倍”的摩尔定律，虽然半导体目前的发展劲头良好，但从2010年开始，单个晶体管的小型化发展趋势逐渐趋缓，同时封装技术也在不断进步，近几年还开发出chiplet等新技术，市场也不断扩大。伴随而来的是封装基板小型化的要求加速增长，光刻设备亟需提高分辨率和套准精度。
“UX-58112SC”是在全球市场具有高占有率的先进IC封装基板光刻设备UX-5系列的最新机型，用于个人电脑、智能手机、平板电脑等设备中的半导体封装基板光刻工序。
卤素加热灯管
将85%以上输入功率转化为红外辐射，具备优异的升温与降温性能，匹配各类金属吸收特性，实现高效、精准加热。光学设计的加热器单元和专用 PID 控制系统可提供出色的热控制，非接触式平面内温度分布可达到 ±5%。作为非接触式加热装置，能保持空间洁净，可用于空气或真空等加热空间。
在低温至高温、常压至高真空、氧化膜形成、离子注入后的活性化、硅化物形成等半导体制造工艺中，作为行业标准热源使用。此外，还可作为辅助加热器和辅助热源发挥重要作用。
准分子清洗
封入氙气的准分子(Excimer)灯，（诱电体屏障放电Excimer灯），可有效放射波长172nm的VUV（真空紫外线），达到快速的化学反应与反应速度。
准分子灯主要原理是通过紫外线打断有机物的氢氧键，清洗产品表面的同时，可以增加表面的清水性和粘附力。
在半导体领域中的主要运用是掩模版的清洗和制造，玻璃基板的清洗同时增加其表面的粘附力，残余光刻胶的去除，成膜以及光刻工序前后的表面清洗等等。
光之所至，未来可期
当前，面对日益复杂的全球环境与社会课题，中国正凭借其创新活力与产业视野，成为许多领域的引领者。Ushio深耕光技术六十余年，愿始终秉持“光的解决方案公司”的定位，以更坚定的步伐深耕中国市场。
我们期待与每一位产业伙伴携手同行，不仅用光点亮技术革新的前路，更以光为媒，共同为推动产业进步与社会的可持续发展贡献力量。
