中芯国际与深圳市签合作协议,拟建28纳米工艺晶圆厂

  • 2018年,中电科电子装备集团有限公司自主研发的12英寸离子注入机,已经应用于中芯国际生产线,工艺覆盖至28nm。此外,其自主研发的国内首台200mmCMP(化学机械抛光设备)商用机设备也获得圆满成功。目前,这些设备都在芯片生产线上24小时工作。
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