多项EUV绝对垄断，日本光刻机实力不容忽视，为国内带来新思路

多项EUV绝对垄断，日本光刻机实力不容忽视，为国内带来新思路

正因为阿斯麦的垄断地位，光是一台EUV光刻机能够卖到1.2亿美元，但是即便如此，还是引发合作商的争抢，其中三星和台积电就是两大主力。

论实力，台积电是没得说的，正因为如此，每年台积电都能采购到最多的EUV光刻机，占阿斯麦同类设备出货量的半数以上，而三星显然就少了点。

根据统计，截止到2020年为止，在EUV光刻机的装机数量上，台积电高达61台，而三星则远远落后于台积电，不足10台。

在这里必须指出的是，尽管三星的EUV设备远少于台积电，可是在设备的投入上却比台积电高，究其原因还是因为无论在制程工艺上还是在订单数量上，三星都比不过台积电，所以三星并没有购入太多的EUV光刻机。

当然，这显然不是三星没有这个财力，三星想要买买买，几十台光刻机虽然不便宜，但是对于它而言也并非难事，主要是受三星的制程工艺和订单数量的影响。

要知道，购买设备的花销才是开始，更大的花销还在后头，毕竟设备落实到位后，不管开没开动起来，保养和维护是少不了的，再加上折旧这就是一笔大费用，如果还因为没订单而闲置，就等于在烧钱，所以在光刻机的采购数量上，三星还是有所顾忌，不能随心所欲。

但是大家也有所耳闻，前段时间为了和台积电争夺EUV光刻机，三星副会长李在镕特意在第一时间奔赴荷兰，与阿斯麦协商订购EUV光刻机的事宜，计划到2025年为止，购入100台EUV光刻机。

为什么三星突然间要购入这么多设备呢?这还是由三星的策略决定的。三星想要追赶台积电，要在制程工艺和订单数量上迎头赶上，光刻机的装机量就必须跟上，这至关重要。

但是三星的这种想法显然是太过于想当然了，因为EUV光刻机是稀缺的设备，能抢到10台8台就不错了，三星想要100台，最后还要看阿斯麦能不能有足够的产量供给。

根据三星奔赴荷兰的结果来看，三星此前订购数量是10台，这次协商也仅仅多获得了9台EUV光刻机，这还是李在镕亲自出马的效果。

而阿斯麦当时已经预定的订单数量在70台左右，台积电还是占据了半数以上的设备，台积电自始至终的大客户地位一直都坐得很稳。

另外，从荷兰阿斯麦近几年EUV光刻机的生产数量来看，2016年至2020年，其EUV光刻机的出货量分别为5台、10台、18台、26台和36台。

按照阿斯麦这样的生产产能来看，三星几乎不可能完成采购目标，因为抛开产能不足不说，其对手台积电也在与之竞争，计划在未来5年内把EUV光刻机的装机量提高到至少185台。

由此可见，三星和台积电的光刻机争夺战有多么激烈。当然，它们也是受“得EUV光刻机者得天下”的现状所影响，但是如今日本的经验在光刻机领域给我们带来了另一个新思路。

我们都知道，日本也曾是光刻机领域的王者，凭借尼康和佳能的光刻机业务，曾一举超过了美国光刻机企业的份额，占据了全球市场的50%。

但是美国不会放任日本光刻机的壮大，因此在美国的一手扶持下，荷兰阿斯麦成功成长起来，成为了垄断全球EUV光刻机市场的企业。

不过，此时的日本尽管在EUV技术上被美国排除在外，但是其EUV光刻机的配套技术却始终占据优势。

从市场占有率上就能明显地看出来，在EUV光刻机的配套设备中，光掩膜缺陷检测设备和涂覆显影设备都非常重要。

正如他们的名字一样，光掩膜缺陷检测就是检测光掩膜缺陷的。光掩膜存在于原始的电路板中，它存在缺陷，就会导致最终完成的芯片存在缺陷。

而且近几年，各国都十分重视光刻机的研发和芯片的研发，对这种EUV光罩检测设备的需求自然也与日俱增。

但是这项技术却只掌握在日本的手中，Lasertec Corp这家公司是唯一一家生产这种设备的公司，市场占有率高达100%。在2020年第三季度中，这家公司的订单数量更是同比上升了2.6倍。

更重要的是，该公司最大的亮点就是将EUV光源运用在检测设备中，这样能够更有利于提高检测设备的灵敏度。

我们都知道，日本在光学镜头和光源领域都是很厉害的，所以在这方面理所当然地占据了很大的优势。

虽然这种设备的价格，没有像EUV光刻机的价格那么高，但是每台设备的制造成本，也在4000万美元以上，建造周期更是有两年之久，其复杂程度完全不亚于EUV光刻机。

另外，EUV涂覆显影设备也是字面的意思。我们都知道，在晶圆上刻画纳米级别的电路是非常困难的，毕竟没有哪种刻刀能够达到这种维度。

所以光刻机是通过光来进行刻画，用光刻画电路的过程，就是将容易被光腐蚀的材料涂在晶圆板上，然后经过光源的曝光，来进行刻画涂覆显影，上述设备就是进行材料涂抹和电路显影的设备。

日本的东京电子在这个领域，也是占据着100%的垄断地位。即使在这种垄断地位之下，在2021年东京电子仍要投入超12.5亿美元，用来研发更先进的设备。

所以日本在光刻机领域的地位，虽然不至于像阿斯麦一样风光无限，但也是牢不可破的。

除了上述这些外，日本在光刻胶领域也占据着90%的市场份额。而光刻胶就是前面提到的那种易被光腐蚀的材料。

另外，在光刻机的光源领域，目前能为EUV光刻机提供所需激光光源的公司，除了一家已被阿斯麦收购的美国公司外，剩下的唯一一家就是日本的光源公司Gigaphoton

说了这么多日本的技术，相信大家已经有所察觉了，在光刻机领域，日本为我们带来的新思路，就是以绝对的技术垄断换技术。

即使光刻机的到来，国内可能还需要很长一段时间，但是如果我国的科研人员在相关的重要领域，取得了100%的技术垄断，就能以此作为交换，争取到阿斯麦的EUV光刻机，在当前的情况下，这也不失为一种快速的办法。