碳化硅衬底激光剥离技术

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• 寂静山林

• 太专业。满篇看懂2点：一、这技术降本增效，二、又是杭州（西湖大学）；

主要是碳化硅衬底太硬而且脆，硬度有9.5，而硅衬底只有7，所以传统硅衬底的砂浆线切割，金刚石线切割等，对于碳化硅衬底的良率和效率都比较低。

现在碳化硅衬底主要用隐形激光切割比较多，就是和传统的物理线切割不同，先把晶锭打磨，然后用激光从晶锭的上面透过表面，让晶锭内部改质，然后用其他方法（例如超声波）剥离。这项技术相比传统的线切割方法，效率高，而且没有切割口，切割后的衬底表面精度高，后续的衬底磨抛的时间和成本可以大幅度节省。但缺点是设备成本高。西湖仪器也是用的这种方法。

国内这项技术比较领先的是大族激光。