​国产光刻胶的关键战场,在这里

  • 并不像该文作者所说的我国光刻胶产业起步较晚,应该说,我国的光刻胶研发起步是很早的,并在20世纪70年代就与日本同步,光刻胶技术一度处于世界一流水平。但随着改革开放产业政策的转向,就如同大飞机、光刻机等许多领域一样,光刻胶的研发也被尘封了起来。时间来到2023年,日本的JSR、TOK、住友化学、信越化学在中高端光刻胶上【KrF(248nm)、 ArF(193nm)、 F2(157nm),以及最先进的 EUV(13.5nm)用光刻胶】占据着统治地位,美国陶氏化学只是分了一杯羹。
    ●中国的“北京科华微电子公司”是全球生产光刻胶排第八的公司,也是“国家02专项”的承担单位,早在2020年KrF(248nm)光刻胶销售就达286万元,是唯一可以批量供应KrF光刻胶给8寸和12寸代工客户的本土光刻胶公司。KrF光刻胶在2023年已经接近10%的预期占有率,i线产品接近50%的占有率。

    ●2015年09月21日成立的徐州博康公司,是中国高端光刻胶研发生产领域里的后起之秀,2021年新年伊始,就开始实施“扩大产能和延伸产业链”的项目工程,已经在2023年6月份就将公司新研发成功的ArF(193nm)光刻胶投入量产,当年目标是1100吨,并新增10000吨电子级溶剂生产线。
    ●早在2020年底,南大光电公司自主研发的ArF(193nm)光刻胶产品就成功通过下游客户的使用认证,成为通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶,产业化就已取得关键突破,并拿到国产光刻胶的首个订单,当年年产能就达25吨。

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