上微将于2022年交付首台28nm工艺国产沉浸式光刻机
2020年11月16日下午,浦东新区金融工作局党组书记、局长张红带队前往上海微电子装备(集团)股份有限公司走访调研,参观了综合展示厅,并进行座谈交流。
上海微电子总经理茅雁、战略业务总监贺跃进先后向金融局详细介绍了公司发展历程、光刻机技术工艺以及上下游产业链。张红局长对公司在光刻机领域的行业地位以及领先技术表示敬佩。她表示,上海微电子主动服务国家战略,不断开拓创新走出自主创新发展之路,成绩来之不易。根据习总书记在浦东开发开放30周年庆祝大会上提出的新的重大任务,希望公司专注自主核心技术研发,不断提升技术能级,更好发挥科技创新策源功能。金融局将全力以赴做好企业服务工作,支持企业通过资本市场提升质量、做大做强。
上海微电子成立于2002年3月,主要从事半导体装备、泛半导体装备以及高端智能装备的设计制造销售。公司拥有国家级企业技术中心、国家技术创新示范企业等多项荣誉称号。截至2020年3月,公司直接持有各类专利及专利申请超过3200项。
上海微电子是国内唯一从事研发、生产以及销售高端光刻机的公司,也是全球第四家生产IC前道光刻机的公司,公司预计将于2022年交付首台28nm工艺国产沉浸式光刻机,国产光刻机将从此前的90nm制程一举突破到28nm制程。公司在中端先进封装光刻机和LED光刻机领域技术领先,先进封装光刻机国内市场占有率高达80%、全球市场占有率达40%,LED光刻机市场占有率第一。