上世纪末，Intel 和美国能源部共同发起成立 EUV LLC 组织，汇聚了美国顶级的研究资源和芯片巨头，包括劳伦斯利弗莫尔实验室、劳伦斯伯克利实验室和桑迪亚国家实验室等三大国家实验室，联合摩托罗拉（当时如日中天）、AMD 等企业，投入 2.25 亿美元资金，集中了数百位顶尖科学家，

英特尔于是邀请阿斯麦和尼康一起加入。但美国政府不乐意了，担心最前沿的技术落入外国公司手中，因此反对阿斯麦和尼康加入 EUV LLC。

阿斯麦对美国政府许下一大堆承诺后，勉强进入了 EUV LLC 这个超级朋友圈当一个小角色。尼康则没有这么幸运，直接被拒绝，连当小角色的机会都没有。

阿斯麦虽然是 EUV LLC 中的小配角，但却享受到其基础研究成果，同时在 2000 年、2013 年，分别并购美国光刻机巨头 SVGL(硅谷光刻集团)和美国准分子激光源企业 Cymer，打通了极紫外光刻机的生产产业链。美国本来也以国家安全为由百般阻挠阿斯麦收购，但由于阿斯麦有加入 EUV LLC 的先例，并且答应了一大堆附加条件，收购最终成功落地。

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