从电容到芯片——钽的进化
第73号元素钽(Ta,读音为“坦”),密度16.6g/ cm3,熔点2996℃,是和钨类似的“重量级”元素。
它看似陌生,却频繁地出现在我们身边的各种电子电气设备中。目前全世界钽的年产量有2000多吨,大约三分之二被用于制造电容器。
钽在自然界中非常稀有,只占地壳的百万分之二。根据2015年的数据,全球钽资源储量逾10万吨,其中澳大利亚占比超60%,巴西亦占有30%多,加拿大和非洲中部的卢旺达、刚果(金)等国也是钽的重要出产国。我国的钽资源较为稀缺,且与国外品位可达万分之三到万分之六的钽矿相比,我国钽矿品位普遍在万分之二以下,钽资源对外依存度高达80%以上。
钽是岩浆从地下深处带来的。我国钽矿主要出产于江西宜春、内蒙古白云鄂博、新疆可可托海等地,2014-2015年又报道在江西、陕西发现了大型钽矿。在本号之前的文章中,江西宜春、新疆可可托海都是以锂矿的身份出现的,而钽和锂就从岩浆中相伴而生;内蒙古白云鄂博则是岩浆成因的稀土-铌-铁矿。澳大利亚是世界上硬岩锂矿最丰富的国家(例如天齐锂业收购的世界最大锂辉石矿之一的Greenbushes矿),其丰富的钽资源也伴生于其中。
就像元素周期表上的“隔壁邻居”铪(Hf)和锆(Zr)一样,钽和同族上一个周期的41号元素铌(Nb)的性质接近,常常共存。具有工业价值的钽矿物有钽铁矿((Fe,Mn)[(Ta,Nb)O3]2,铁和锰、钽和铌可以相互取代,含锰高的叫钽锰矿,含铌高的叫铌铁矿)、重钽铁矿(与钽铁矿成分类似,但晶体结构稍有不同)、细晶石和烧绿石(( Ca,Na,Th,TR) 2 ( Nb,Ta,Ti)2 (O,HO,F),Th是钍,TR代表稀土元素,这两种矿物结构相同而成分略有不同)、黑稀金矿((Y, Ce,Ca, U,Th)(Nb,Ta,Ti)2O6,Y和Ce分别是稀土元素钇和铈)等。
从钽矿中提取钽的方法是湿法冶金。
用氢氟酸处理钽矿(以钽铁矿为例,铌的反应类似),钽被溶解为氟钽酸(H2TaF7),铁、锰也被溶解为FeF2、MnF2,碱土元素(如钙)和稀土元素(如钇)则形成氟化物沉淀。
利用萃取法把氟钽酸和氟铌酸从溶液中分离出来。
向氟钽酸溶液中加入氟化钾,沉淀出氟钽酸钾(K2TaF7)晶体。
在约900℃的高温下,以氯化钾、氯化钠等熔融盐作为溶剂和分散剂,用金属钠还原氟钽酸钾,生成金属钽,再通过水洗和酸洗除去钠和盐,得到微米级乃至纳米级直径的钽粉。近年来,也有一些新的还原工艺被开发,以得到尺寸更小的钽粉。
之所以要把钽粉的尺寸做小,是为了提升钽电容器的容量。
在钽电容器中,钽金属是阳极导体,其表面被氧化上一层薄薄的氧化钽(Ta2O5),构成电容的电介质,这是利用了氧化钽膜结构致密、抗击穿能力强的优势。根据电容大小的公式(C=εS/4πkd),电容量正比于电介质的介电常数(ε,一般来说,介电常数随原子序数的增大而增大,所以氧化钽的介电常数是比较大的)和电极的面积(S),反比于两个电极的间距(d,氧化钽膜厚度仅几十到几百纳米,但太薄的氧化膜的耐压能力不足)。钽阳极是由钽粉经烧结得到的海绵状多孔结构,显然,原料钽粉的颗粒越细小,所得钽块的表面积就越大,在相同的尺寸、重量下就能获得越大的电容量。
还原得到的钽粉还要经过1000多度的真空热处理,这一方面是为了脱除酸洗引入的氟、氯、氢等杂质,另一方面使超细钽粉集合成直径几微米到十几微米的团聚体,提高粉体的流动性,以利于后续的钽块成型。但热处理难免导致钽被部分氧化,还要用镁作为还原剂进行脱氧。
钽粉经压制成型,其中插入作为阳极引脚的钽丝,在1200-1300℃烧结,钽粉颗粒相互连接,得到多孔钽块。
对钽块进行阳极氧化处理:把钽块整齐地悬挂在导体上,浸入稀酸中,接上电源正极,通电氧化得到氧化钽膜(被称为“赋能”)。若在钽块上施加负电压,会把氧化膜还原破坏掉,这就是为什么钽电容器有极性,正负极不能接反。
用二氧化锰(通过浸渍硝酸锰或高锰酸钾得到)或导电聚合物填充钽块内的孔隙(“被膜”),作为固体电解质,也就是电容的阴极。再在电容芯子上浸渍石墨浆料和银浆,构成导电的石墨和银涂层,连接到阴极引出端。最后经过封装,得到各种规格的钽电容器。凭借电容密度高(小体积大电容量)、稳定性好、工作温度范围宽、等效串联电阻低、高频性能好等优点,钽电容在电子工业中应用广泛,包括应用于宇航领域。
有没有发现,还差一种关键的材料没有介绍?
对,那就是作为阳极引脚的钽丝。
钽丝也是由钽粉制得的。
钽粉被装入圆筒状的橡胶包套(上图),置于冷等静压机的缸体内(下图中央的圆柱形容器是缸体,左侧的牌坊状结构是加强框架),液压泵给缸体内加压到上千个大气压,使液压力均匀地作用在钽粉上,压实成钽条坯料。
烧结钽条的炉子叫真空垂熔炉(上图)。坯料被垂直悬挂在炉体内,连接上下电极,依靠坯料自身的电阻热加热到2000多度,烧结为致密的钽条(下图,伴随着体积收缩和变形)。
钽条经过轧制和拉拔,以及各道次冷加工之间的退火软化,瘦身为直径仅零点几毫米的钽丝。
除了电容器,钽的碳化物可被加入硬质合金中制成切削工具;钽的高熔点特性使之可以用于高温场合;凭借极强的耐酸和耐液态金属腐蚀能力,钽也被用于化工行业;钽还拥有良好的生物相容性,多孔钽作为骨科植入材料,力学性能与骨骼接近,还能诱导骨细胞在孔隙中生长,促进骨骼的修复。
提供这些钽材料的是中色(宁夏)东方集团有限公司(中色东方)。
它原名冶金部905厂,是1965年因国家“三线建设”从北京有色金属研究总院搬迁到宁夏石嘴山市的。在贺兰山脚下的漫天风沙中,他们在简陋的条件下建立起我国第一条铌生产线、第一条钽粉生产线和迄今唯一的铍生产线,产品广泛应用于电子、冶金、化工、航空、航天、核工业等领域,为两弹一星等国防事业做出了不可磨灭的贡献。
钽的同族“弟弟”铌有约90%被用于钢铁工业,起到提升钢材强度和韧性的作用。铌合金是一类重要的低温超导材料,已被用于核磁共振成像、可控核聚变等需要强磁场的领域。铌的耐高温特性则在航天领域获得应用。
(请看:离我们最近的超导——铌基低温超导材料)
铍(Be)最大的用途是制成铍铜合金,即“铍青铜”(上图),具有高强度、高硬度、高导电导热性、耐磨、耐腐蚀、碰撞不起火花等优点,被用于精密仪器(如导航用的陀螺仪)、电子器件和轴承等。在核工业中,铍对热中子(低能中子)的吸收弱而散射能力强,起到中子反射和减速的作用;又能吸收一个高能中子而释放出两个中子(中子倍增),被用于中子源(比如引爆原子弹);在核聚变反应堆里,铍是直面聚变等离子体的防护材料。
随着时代发展,905厂几经演变,2008年经中国有色集团重组而成立中色东方。目前中色东方是世界三大钽产品生产企业之一(另外两家是美国的Cabot和德国的H.C.Starck),电容器用高比容钽粉的技术达到世界先进水平。
在先进钽材料的另一个维度——纯度方面,我国也已达到先进水平。
在芯片内部,需要布设铜导线来把晶体管连接起来,这是通过在硅或二氧化硅基材上沉积、电镀铜得到的。铜的导电性虽好,但铜与硅或二氧化硅之间的结合力很弱,又容易扩散到硅材料中,降低了电路的稳定性。
应对之道是在铜和硅、二氧化硅基体之间增加阻挡层,一方面阻挡铜向硅的扩散,另一方面强化铜布线与硅基底之间的连接,同时还要求阻挡层有良好的导电性和稳定性。钽和氮化钽是目前最常用的阻挡层材料。
在硅片上沉积钽的方法是磁控溅射,即在真空条件下,氩气在电场和磁场作用下电离为Ar+离子并轰击到钽靶材表面(上图的靶材中,银白色为钽,黄色是铜背板),把钽原子撞出来,飞溅到硅片上,沉积出一层钽。沉积氮化钽的方法包括在磁控溅射钽时引入氮气,以及使用挥发性的钽化合物(卤化物或有机化合物)和氨气进行原子层沉积(ALD)。
用在芯片里的原材料,突出一个“纯”字。钽靶材的纯度要求达到99.95%(3N5)以上,最高可达99.9999%(6N)。这是通过电子束精炼得到的。
高纯钽粉经过冷等静压成型和烧结,制成电极棒,从电子束精炼炉上部插入。
在真空中,用电子束轰击钽电极和坩埚中的钽料,电子的动能转化为热能,使钽受热熔化。钽电极的熔滴落入下方的坩埚,在高温和真空条件下,杂质挥发脱除,钽得到提纯。在水冷坩埚中,钽液凝固,被拉锭机构持续从下方拉出。由此,钽电极被熔炼成超高纯钽锭。
(还记得钽的密度吗?16.6g/ cm3。这根看似纤细的钽锭,重量足有一吨!)
超高纯钽曾是一种“卡脖子”材料。为了解决先进芯片关键材料受制于人的问题,我国超高纯金属靶材的领军人物——姚力军博士创办了同创普润新材料公司,在浙江丽水布局了6台我国最大的电子束精炼炉(单电子枪功率最大800kW,由中国有研科技集团有限公司所属的有研工研院自主研发),电子级超高纯钽的规划年产能达400吨,位居全球第一。另外,东方钽业、南方钽铌等企业也有超高纯钽生产能力。
在我国超高纯金属靶材的龙头企业——姚力军博士创办的宁波江丰电子,切割后的钽锭经过锻造、轧制,得到圆形的薄钽板。这个过程不仅仅是塑形,还使钽板内部的晶粒均匀、细化、朝向有利于溅射的取向。
利用热等静压焊接的方法(以惰性气体为加热、加压介质,在高温高压下使两块紧密贴合的金属连接为一体),把钽板靶坯与起到固定、导电、导热作用的铜背板焊接起来,制成完整的靶材。
(靶材生产的详细过程请看:振中靶芯——高纯钛溅射靶材的生产)
一台电脑、一部手机,乃至小小一块芯片,就包含着小半张元素周期表,需要成千上万种原材料的组合。虽然在大部分时候,很多关键材料默默无闻,但它们构成了工业体系的基石。我国的产业升级,在这些并不引人瞩目的领域里,同样在持续而坚定地进行着。
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参考资料和素材来源:
浙江卫视. 《二十六县纪事》第五集《山海》.(超纯高钽和钽靶材的,28:59开始)
http://www.zjstv.com/zcloud/video/10099793.html
新华网. 高质量发展调研行|宁夏:东西联动 为开放合作创新赋能. 20230531
https://haokan.baidu.com/v?pd=wisenatural&vid=8842587693391403741
宁夏卫视. 《宁夏新闻联播》20190623何季麟:扎根西部铺“钽”途.
http://news.cctv.com/2019/06/23/VIDE9B48orzcUMLtVvU6CoUe190623.shtml
中色(宁夏)东方集团有限公司2012年企业宣传片.
https://v.youku.com/v_show/id_XNjE1MDc4NDg4.html
中国有色网络视频. 小品种 大文章——走进中色(宁夏)东方集团有限公司.
https://tv.cnmn.com.cn/Play.aspx?id=10219
中色东方钽丝分厂实现一季度“开门红”.
https://tv.cnmn.com.cn/Play.aspx?id=1421
贵州卫视. 《贵州新闻联播》20160721坚持军民融合发展 振华新云电容器年产值超9亿元.
http://news.cctv.com/2016/07/21/VIDETosWu7lNTRsOzYnPXE8p160721.shtml
曹飞,杨卉芃,张亮,等. 全球钽铌矿产资源开发利用现状及趋势. 矿产保护与利用,2019,39(5):56-67,89.
周宏明,郑诗礼,张懿. 钽铌湿法冶金技术概况及发展趋势探讨. 现代化工,2005,25(4):16-19.
何季麟,刘红东,卢振达,等. 高比容钽粉关键技术及应用开发研究. 材料导报,2000,14(5):8-9.
刘建清. 钽电解电容器生产工艺和漏电流分析. 电子测试,2020(13):127-129.
任志东,白掌军,李树荣,等. 真空电子束熔炼制备超高纯钽锭工艺研究. 湖南有色金属,2020,36(6):53-55.
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沙城俗人甲
2023-11-03 12:08
来自安徽省
沙城俗人甲
2023-10-23 15:39
来自安徽省
上世纪60年代,日本从广西恭城栗木矿区大量购买锡矿。为破解其中奥妙,赵振华当时所在的地质所向国家申请购置电子探针,并用其检测发现该锡矿含有铌钽铁矿石。钽是无线电通信、也是制造人造卫星的必要材料,其时在国际上遭到封锁。此次发现无疑解决了国家的燃眉之急。1970年4月24日我国自行研制的第一颗人造地球卫星“东方红一号”升入太空,对此赵振华记忆犹新:“那时我正在西安出差,发着高烧。一听通知说晚上几点钟卫星将从西安上空过,西安万人空巷啊,都上大街!我们在鼓楼看见卫星飞过,广播就把那个《东方红》奏出来了。”那漆黑暗夜中的一抹亮色,有属于中科院人的一份功劳。
科大人在广西栗木锡矿我们为第一颗人造卫星做贡献
(原)地球和空间科学学院陈江峰2017年6月25日
按语:日前接到化学院90余岁的退休教授赵贵文先生电话,要我回忆当年在广西栗木锡矿的工作,我以健康理由婉拒了。近日,反复思量,想到近半个世纪过去,当年参加工作的老师已经逐渐老去,连我这样当年的小助手也已经年近耄耋,经历过这段历史的人越来越少,觉得有必要把这样一件直接服务于国家目标、为两弹一星作出直接贡献的工作写下来。这不但是对我们学校传统的回忆(口述历史吧),也许也可以给年轻老师同学以借鉴。由于我个人当年所处的助手地位和专业局限,不了解全局,但我介入此项工作前后6年,印象很深,所以尽管回忆的某些内容可能有失偏颇,但是大的轮廓是不错的。
栗木锡矿是个小矿山,在广西桂林以东约100公里的恭城县山区。作为锡矿,在盛产钨锡的南岭地区只是个不起眼的小矿,周围没有著名风景,虽然出名的沙田柚原产地就是恭城,但知之者甚少。这样一个一般人不会多加注意的小矿山,在60年代的机缘巧合之下,与我个人联系到了一起,与科大化学系诸多老师同学联系到了一起,与我国的两弹一星事业联系到了一起。事情源起1965年春。为了寻找地球化学专业学生的矿床课实习基地,时任化学系第一付主任的黎彤老师带领地球化学专业金翠英等老师到盛产有色金属的江西、湖南、广西等地考察。各地有关机构推荐了若干个点供参考。黎主任认为大矿山不一定会重视我们二三十人的小实习队伍;而小的矿山,尤其是面临困难的小矿山,应该更适合我们。于是他拍板选定了广西栗木锡矿。栗木是个钨锡矿,规模中等,当时正是资源枯竭的时候,急需扩大资源,挽救矿山免于关门。矿山介绍说,比较容易开采利用的石英脉型矿体的储量已经很有限了。有一个花岗岩型的老虎头矿体还有一些钨锡储量,但是这些钨锡分散在花岗岩里,开采利用很困难。在考察过程中,黎主任听到在广西有色局工作的两位地球化学58级校友郭旦奇和杨容甫说,他们听老同志讲过,1958年在分析来自老虎头的样品时出现黄色沉淀,疑似含钽,但是因为技术条件所限,没有得到肯定的结果。当时黎主任就非常敏感地联想到钽是稀缺资源,当时主要来源是新疆的伟晶岩型矿床,全国的储量总共才十余吨。钽是制造人造卫星的必备材料,在国际上又遭遇封锁,乃是国家之急需。于是,黎主任在校领导、特别是钱志道副校长支持下,组织化学系师生,进行“一条龙”式的攻关。地球化学专业做野外工作,进行资源评价。分析化学专业在赵贵文老师主持下负责攻克分析方法。无机化学专业在柴璋老师主持下负责研究钽的提取工艺。并与中国科学院地球化学研究所、矿山、有色研究院和有色271地质队合作。很快肯定了老虎头花岗岩型钽矿床的工业价值,确定了300吨储量。黎主任还指出了规模更大的水溪庙矿床(也在栗木矿区内)的找矿方向。分析方法和老虎头型矿床中钽的提取工艺也很快攻克。1966年就建厂,当年就投产,在那动荡的年代,这速度也体现了国家急需和重视的程度。从科学和经济意义而言,由于对花岗岩型钽矿床这一新的矿床类型的认识,很快在栗木矿区又找到两个更大的大型钽矿床,其中一个就是水溪庙。此后在江西和南岭地区找到多个该类型的大型和特大型钽矿床(如宜春的414矿,钽储量上千吨)。更重要的是解决了国家的急需,为我国的航天和国防事业做出了直接的贡献。1970年,因为科大下迁和“疏散”,我本人和化学系一些老师和同学又重回栗木。其时正值我国第一颗人造卫星上天,那天晚上,深山中的栗木职工和全国人民一样,在黑夜中敲锣打鼓游行庆祝。矿山的喇叭广播,说受到中央军委的电话嘉奖,立时人群都沸腾了,我们也在这游行队伍之中。我们地球化学的师生于1970年7月初离开栗木回到学校,事实上是回到马鞍山,在那里继续接受再教育。无机化学专业的曾垣兴老师比我们晚离开栗木,他告诉我他带回了中央军委的纸质奖状,科大也是受奖单位。可惜,因为种种原因,此奖状早已遗失。当年,大家觉得有生之年能有机会参加这样一项对国家有重大贡献的项目,很光荣。但是没有人想到要申请一个什么奖项。现在回想起来,要想请奖还是有机会的,但是快半个世纪了,没有人提出。也许这就是我们科大的老师辈和我们这一辈人的奉献精神吧。就我个人而言,当年在栗木的经历永远是感到自豪的回忆。
已注销用户
2023-10-23 06:46
来自广西壮族自治区
广西也有一处钽铌钕伴生矿,也是我国较早时候发现的。源于来援助的苏联专家把尾矿收走技术员感觉很奇怪就取了样品送去北京化验而知。
后来此国营矿厂工人下岗,纷纷去捡尾矿过生活,也有相当多人在附近自留地私自开矿,山上千穿百孔,我想说的是这里还有比较多的细矿脉(因为我去干过)由于此矿是变质岩形成的多矿种矿山,主要产锡铅锌卖,收矿的也不会知道里面含稀有金属一古脑的浪费了。近年来有些矿业公司开始关注此矿山的后续价值
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2023-11-03 12:59
来自广东省
去过深山里某三线厂,做这个器件的。 我给他们厂卖了几个周边小机器
那时候我的感叹是这种偏僻山沟里搞这种高精尖的产业,实在有很大困难,毕竟太闭塞了,跟外面不易交流
马氏体
2023-11-05 17:13
来自德国
baxfha
2023-11-04 08:50
来自广东省
很喜欢您的化学元素系列,会一篇篇看下去。
但是希望出一个概览篇:总结一下,化学元素中,哪些是有很大的工业价值的,哪些价值不大,哪些几无价值。
感谢支持!我也是在一边梳理一边学习中,不久之后会争取出一总结概览
开面馆的老火柴
2023-11-04 10:32
来自上海市
我就想知道我们国家的提炼技术是不是世界第一?🤭
baxfha
2023-11-04 08:50
来自广东省
马氏体
2023-11-03 18:19
来自德国
储量随着新矿的发现是动态变化的,石油、煤炭不也是永远只够用**年嘛,啊哈哈哈。我国在江西和陕西陆续发现了几万吨的新钽矿,但这个数字是“资源量”,也就是不太可靠的预估量,一般会比可用的储量高估很多。钽经常和锂共生,所以新能源锂矿开发热潮对钽也有利。另外就是回收利用的钽,占总产量的10%~20%。
很喜欢您的化学元素系列,会一篇篇看下去。
但是希望出一个概览篇:总结一下,化学元素中,哪些是有很大的工业价值的,哪些价值不大,哪些几无价值。