【本文由“gogo2075”推荐，来自《清华大学EUV光源工厂化的方案，这个要成为真正的生产能力还是很远的》评论区，标题为小编添加】

• 观察快乐

• 这个只是解决光源问题，核心还是物镜和工作台吧

感觉作者没有搞懂这个项目的意义，这个有点类似上海光源（上海同步辐射光源），现在上海光源的作用都知道了，27条光束线39个实验站远远不够，都在抢票，出票秒杀。微电子、医药、石油、化工、生物工程、医疗诊断和微加工，中国石化干脆自己投资建设三条线站，专门用于新型催化剂、高分子材料和油气勘探技术等的研究开发。张江之所以成为生物医药的国内研究最强基地，很大程度上依靠上海光源。

清华大学在雄安区准备建设的这个项目，就是提供了一个SSMB-EUV光源。ASML一台EUV光刻机也不会卖给中国，EUV光刻机光源只有两家公司能够生产：一家是美国Cymer（被ASML收购），另外一家是日本Gigaphoton，也绝对不会卖给中国的。所以EUV光刻相关的曝光系统，掩膜，光刻胶都缺乏EUV光源（华为投资的科益虹源，EUV光源还没有准确消息，且功率能不能上去也很难讲，EUV光刻机最难的一个就是光源的功率提升），而现在中国即将拥有自己的EUV光源，而且是这么大功率和这么窄带宽的EUV光源。而且SSMB具有可拓展性，SSMB原理上容易往更短波长拓展, 为下一代采用波长6.x nm的Blue-X光刻技术留有可能。 

SSMB-EUV光源，现在全球的研究和产业化，大家基本都一样，同一起跑线。这就是ASML掌门人说的，中国人挡不住，他们可能有另一条路径。

SSMB的造价(数亿到十亿)及规模(周长100—150m)适中,至于现在说光刻机工厂确实还太早，但弄着弄着，谁知道呢。